Class 100 Clean Ovens

一、設備用途:
      Class100 潔凈烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、TP、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

二、產品特點：
1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
3.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
4.強制送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到*溫度控制精度。
 

三．無塵高溫試驗箱,潔凈烘箱,無塵烤箱,百級無塵烘箱,Class100 潔凈烘箱,百級無塵烤箱,100級潔凈烤箱產品技術參數：
 

1.主要技術指標：
   無塵等級：Class 100;                   溫度范圍： RT+20～+300℃；
   溫度均勻度：200℃±4℃;              溫度波動度：±0.5℃（空載）        
   溫控精度：±0.1℃;                        工作尺寸：W800×D600×H1300         
   電源：380v , 50Hz，15KW           網板：2塊（高度可調節)

潔凈度100級的潔凈熱處理
HEPA高效過濾器與前出風型水平層流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風速距離。
M計裝可編程控制
1模式20步驟，最多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重復次數在1-999次間設定。
簡單操作的標準計裝
標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。 

2、箱體結構：
   烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統組裝而成，結構合理，外觀美觀大方；
   箱體材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經堿性蘇打水清潔，可防止微塵；
   內膽材料：采用優質SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產生 PARTICLE；
   中桶材料：采用優質SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。

3、溫控系統：
   采用日本“神港”溫度控制器，控制器LED數字顯示及設定、PID自 動演算、薄膜設定，精確度±0.3%FS。；
   訊號來源：采用PT100熱電阻±0.5%。
   輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。

4、完善的安全保護措施：
漏電斷路器、     控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過電流保護裝置、
馬達過電流保護、 機臺異常蜂鳴器警示   逆向防止器、 門面安全開關

5、選購設備(需另外收費)：
   可程式溫控器        無紙記錄儀        三色指示燈          烘烤架

注:無塵等級和尺寸可根據要求定制。